2021-10-13 17:19:15
本文關(guān)鍵字：質(zhì)量流量控制器

　　質(zhì)量流量控制器用于對于液體或者氣體的質(zhì)量流量進行準(zhǔn)確測量和控制。廣泛用于真空鍍膜，毛細管測量氣象色譜儀，光纖熔煉，光導(dǎo)纖維制造，混氣配氣系統(tǒng)，微反應(yīng)裝置等設(shè)備中。以及冶金，石油化工，制藥等行業(yè)。

　　質(zhì)量流量控制器的測量原理：通過測量氣體流經(jīng)流量計內(nèi)加熱元件時的冷卻效應(yīng)來計量氣體流量的。氣體通過的測量段內(nèi)有兩個熱阻元件，其中一個作為溫度檢測，另一個作為加熱器。溫度傳感元件用于檢測氣體溫度，加熱器則通過改變電流來保持其溫度與被測氣體的溫度之間有一個恒定的溫度差。當(dāng)氣體流速增加，冷卻效應(yīng)越大，使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。質(zhì)量流量控制器具有擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入中等功能，具有精度高，重復(fù)性好等特點，可以廣泛用于冶金，制藥，石油化工等。

　　質(zhì)量流量控制器的電磁閥是調(diào)治閥，不是截止閥，不能當(dāng)截止閥用，用戶應(yīng)另配截止閥。特別是用戶如果使用的是腐化性氣體，通常應(yīng)該在進出氣口各加裝一個截止閥，以包管寧靜。