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質(zhì)量流量控制器的密封介紹

2021-10-13 17:19:15
本文關(guān)鍵字:質(zhì)量流量控制器

  質(zhì)量流量控制器用于對(duì)于液體或者氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量和控制。廣泛用于真空鍍膜,毛細(xì)管測(cè)量氣象色譜儀,光纖熔煉,光導(dǎo)纖維制造,混氣配氣系統(tǒng),微反應(yīng)裝置等設(shè)備中。以及冶金,石油化工,制藥等行業(yè)。

  質(zhì)量流量控制器的測(cè)量原理:通過測(cè)量氣體流經(jīng)流量計(jì)內(nèi)加熱元件時(shí)的冷卻效應(yīng)來計(jì)量氣體流量的。氣體通過的測(cè)量段內(nèi)有兩個(gè)熱阻元件,其中一個(gè)作為溫度檢測(cè),另一個(gè)作為加熱器。溫度傳感元件用于檢測(cè)氣體溫度,加熱器則通過改變電流來保持其溫度與被測(cè)氣體的溫度之間有一個(gè)恒定的溫度差。當(dāng)氣體流速增加,冷卻效應(yīng)越大,使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。質(zhì)量流量控制器具有擴(kuò)散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入中等功能,具有精度高,重復(fù)性好等特點(diǎn),可以廣泛用于冶金,制藥,石油化工等。

  質(zhì)量流量控制器的電磁閥是調(diào)治閥,不是截止閥,不能當(dāng)截止閥用,用戶應(yīng)另配截止閥。特別是用戶如果使用的是腐化性氣體,通常應(yīng)該在進(jìn)出氣口各加裝一個(gè)截止閥,以包管寧?kù)o。



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